ONTO光刻系統JetStep G45

JetStep G45 系統可滿足移動顯示行業的苛刻要求。該系統基于成熟的步進技術，將優化的性能與良好的擁有成本相結合。JetStep G45 系統在 >200mm 的視場直徑范圍內具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光學結合高速運動使系統能夠實現<0.5μm的覆蓋。JetStep G45 系統放大光學器件允許使用 6 英寸標線片（掩模），與競爭技術相比，顯著降低了加工成本。此外，該系統占地面積小，可大限度地降低設施成本，其無摩擦運動可減少磨損，從而降低維護成本。綜合節省導致成本低廉的制造過程，降低了資本支出和擁有成本 (COO)。 

• 自動放大控制增加了工藝窗口
• 板載標線管理系統提供大利用率
• 用于現場校準的機載計量包
• 在每個曝光位置進行動態自動對焦，以自動調整面板拓撲上的焦點
• 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

• 分辨率達 1.5µm 的高保真投影鏡頭和照明系統
• 行業標準的 6 英寸光罩格式，用于經濟的制造