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      BOC EDWARDS真空隔離閥VIV25EKA

      產品介紹

      VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初級泵一起使用,是一種高電導、快速作用的高真空隔離閥,旨在防止蒸汽或顆粒從前級泵移動到工藝室 . 當 VIV 關閉時,前級泵排氣。 當泵停止或停止時,VIV 可保護工藝室不被通風。 當前級泵重新啟動時,閥門將在 VIV 內的壓力下降時緩慢打開,從而大限度地減少任何壓力爆裂的影響。

      性能特點

      • VIV 閥具有高傳導性
      • 快速關閉動作
      • 斷電保護
      • 靈活的安裝選項
      • 不限制主泵性能
      • 防止蒸汽或微粒從前級泵遷移到工藝室
      • 防止電源故障時工藝室排氣

      技術參數

      • 關閉壓差:>200 mbar
      • 開啟壓差:<200 mbar
      • 開啟開關時間:<15s
      • 用于合閘切換時間:<0.1s
      • 響應時間切換時間:<0.05s
      • 機身材質:鋁
      • 密封材料:氟橡膠

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