COHERENT準分子激光器COMPex F2

COMPex 準分子激光器是一種有效光源，設計緊湊，易于安裝和操作。它們可在固體取樣系統（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和材料加工等要求苛刻的應用中提供更高的效果。COMPex 采用陶瓷預電離技術，可提供數百毫焦輸出，以及高脈沖-脈沖穩定性。COMPex 還配備了改進的氣體處理器，可延長氣體和光學器件的使用壽命。

可選擇 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 波長，具有高材料靈活性

高達 750 mJ 的脈沖能量，可實現大場尺寸的有效燒蝕

0.75 % 均方根脈沖穩定性，確保高通量控制

脈沖控制和系統參數記錄，提供智能和可重現的薄膜

高速 USB 2.0 標準 A：從激光控制器上傳/下載數據

高速 USB 標準 B：用于輸入/輸出操作模式的虛擬串行端口

以太網網絡連接 RJ45：向激光控制器上傳/下載數據/從激光控制器上傳/下載數據

產地：美國

輸出波長：157；193 nm

脈沖能量：32；400 mJ

平均功率：1.6；15 W

Max重復率：50 Hz

1 sigma 能量穩定性：≤ 0.75 %

脈沖持續時間（FWHM）typ.：20 ns

光束尺寸（V x H，FWHM）typ.：22 x 8 mm²

光束發散（V x H，FWHM）typ. ：3 x 1 mrad²

1 sigma 光束指向穩定性：≤ 50 µrad

電氣：200 至 240 V AC，16 A，50/60 Hz 可切換，單相；100 至 120 V AC，25 A，50/60 Hz 可切換，單相

水冷卻：≤ 5 l/min（1.3 gal./min）

環境溫度：10 至 20 ℃

連接尺寸： 1/2"

重量：325 kg（717 磅）

尺寸（長x寬x高）：1658 x 375 x 813 mm；66 x 15 x 32 英寸

F-版本部件號：1314952

PLD - 脈沖激光沉積、薄晶片加工、激光剝離/脫粘、LA-ICP-MS