VAT蝶形控制閥61.3

品　　牌：VAT
型　　號：61.3
技術資料： VAT蝶形控制閥61.3系列.pdf
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產品介紹

61.3 HV蝶形控制閥具備卓絕的壓力控制性能。憑借其快速精細的動作控制器（響應時間0.1秒），該閥門是化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）工藝精細控制的理想解決方案。閥板作為節流元件，可調節閥門開度的導通能力。61.3型閥門內置的壓力控制器能快速計算所需閥板位置，以Fastest速度達到設定壓力。

該閥門專為含顆粒氣流的惡劣下游工藝設計，即使在高顆粒負荷和碎屑堆積條件下仍能保持全功能運行。

61.3系列已在數千個嚴苛工藝條件下成功應用，其卓絕可靠性經實踐驗證。憑借堅固結構、直裝選項及簡易維護特性，該系列產品整體滿足各類需求。

通過提供多種設計選項——包括閥體材質、表面處理、彈性體材料、法蘭連接方式、特殊尺寸規格以及特殊控制算法（自適應控制、固定PI下游控制/軟泵模式）——該系列產品可輕松集成至各類真空應用場景。

61.3 HV蝶形控制閥提供鋁制或不銹鋼材質，配備ISO-KF和ISO-F標準法蘭接口。可集成客戶定制法蘭及特殊功能，例如帶保溫層的集成加熱器。可根據需求提供多種FFKM/FKM彈性體（FKM為標準配置）。

性能特點

卓絕的壓力控制

極快的運行速度

內置軟件支持本地操作

在惡劣工藝條件下仍能可靠運行

更優的工藝可控性

高運行時間/無限制性能

低運營成本

產品結構與細節

技術參數

產地	瑞士
尺寸	DN 25 (1英寸) DN 40 (1½英寸), DN 50 (2英寸),DN 63 (2½英寸), DN 80 (3英寸), DN 100 (4英寸),DN 160 (6英寸), DN 200 (8英寸), DN 250 (10“)，DN 320 (12”)
執行機構	步進電機集成控制器
主體材質	鋁或不銹鋼
標準法蘭	ISO-KF，ISO-F
壓力范圍	1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs)
穿墻件	旋轉軸，直接驅動
安裝位置	任意（引薦軸位于泵側）
閥體泄漏率	鋁制：< 1 × 10?? mbar·l/s
	不銹鋼：< 1 × 10?? mbar·l/s
溫度	閥體：≤ 150 °C
	控制器：highest50°C（引薦≤ 35 °C）
密封	穿墻件：FKM （其他材質可定制）
材質	閥體、閥板	鋁合金：EN AW-6082 (3.2315)
		不銹鋼：AISI 316L (1.4404 或 1.4435)
	軸	AISI 316L (1.4404 或 1.4435)

產品應用

半導體制造

刻蝕設備：在Cl?/HBr等離子體環境中快速切斷腐蝕性氣體，Al?O?鍍層蝶板與雙密封結構確保長期耐腐蝕性。

原子層沉積（ALD）：超快響應（＜30ms）匹配前驅體脈沖注入，漏率＜5×10?¹? mbar·l/s，保障薄膜純度。

離子注入機：無磁化鈦合金材質避免束流干擾，XHV級密封維持真空環境穩定。

科研真空系統

適用于高真空或ultra-high真空環境，如同步輻射光源、表面分析儀器等，提供穩定可靠的真空隔離與控制。

光伏鍍膜

在真空鍍膜工藝中控制氣體流量，確保薄膜均勻性，適應大規模生產需求。