MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-S0004

品　　牌：MICROFLEX TECHNOLOGIES
型　　號：MS-028-062-S0004
技術(shù)資料： MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-SXXXX.pdf
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產(chǎn)品介紹

MicroSeal 系列是高純度、高完整性密封件的完整產(chǎn)品線，適用于工業(yè)和半導(dǎo)體應(yīng)用，包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封閉備用端口。其他主要優(yōu)點包括高清潔度和無源、富鉻、低 Ra 表面光潔度。MicroSeals 可改裝為標準的 “C ”型密封系統(tǒng)。我們的密封件符合 SEMI 標準 PR 3.1、3.5 和新的大流量標準。MicroSeal 的設(shè)計具有更柔軟、更順從的界面，可根據(jù)配合表面自行成型，確保泄漏密封性，并在不犧牲回彈特性的情況下去除虛擬泄漏。這是市場上具有高回彈性的高順應(yīng)性密封件。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設(shè)計的十倍之多，而且對空腔公差的容忍度特別高。這確保了密封面在高壓力、溫度和振動條件下保持緊密接觸。所有這些特性都是在低壓縮率的情況下實現(xiàn)的，從而確保了較高的通過。

性能特點

MicroSeal 28 型

60 系列 semi pr3.1 流體輸送系統(tǒng)

0.0004" 紅寶石孔口

優(yōu)化的內(nèi)徑，可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送系統(tǒng)中實現(xiàn)低壓降

低壓縮率，確保氣體/液體輸送系統(tǒng)的高可靠性

密封回彈力是傳統(tǒng)設(shè)計的 10 倍，可在沖擊和振動條件下實現(xiàn)泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 標準

高純度雙熔體 316 不銹鋼

潔凈被動式富鉻表面

5 Ra 潤濕表面處理

減免了高成本的返工和報廢現(xiàn)象

選型指南

MS-028-062-SXXXX：0.060" OD, 0.010" 厚孔徑；孔口 "a "的范圍為 0.0004"-0.0350"

MS-028-062-SLXXXX：0.118" OD, 0.026" 厚孔徑；孔口 "a "的范圍為 0.0050"-0.0810"

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細節(jié)

設(shè)計適用于直徑為 0.290±0.002 的沉孔

"a"，有關(guān)孔口

孔口 "a "的范圍為 0.0004"-0.0350"

孔口 "a "的公差為 0.0002"

0.060" OD, 0.010" 厚孔徑

孔口 "a "取代零件號中的 xxxx

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	美國
紅寶石孔口	0.0004 "
孔口公差	0.0002 "
OD	0.060 "
厚孔徑	0.010 "
材料	鉻/鐵；316L VIM VAR
硫含量	> 0.004 %
鉻/鐵比率	2.5
氧化鉻厚度	> 20 埃
氧化物厚度（減碳）	35 角
表面粗糙度	＜ 1 微英寸；10 微英寸
缺陷/每個位置	＜ 1 個缺陷；＜ 25 個缺陷
泄漏測試，設(shè)計壓力	5000 psig
外泄漏	< 1 x 10^-9 atm·cc/sec He
暴露于 5000 psig 后，100 psig外泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
耐壓性能	7500 psig
爆裂測試（靜水壓力）	靜水壓測試液體不得可見
部件密封性	< 7 x 10^-11
> 20,000 psig 壓力	爆裂
振動	MIL-SPEC 810E 1-3 章 1 類測試
沖擊-跌落測試增量	25G
無沖擊規(guī)格泄漏	<1 x 10^-9 atm·cc/sec He
經(jīng)過類別測試后泄露	<7 x 10^-11 atm·cc/sec He
沖擊 > 294G	無泄漏
預(yù)加載防護系數(shù)
扭矩設(shè)置	80 % 和 120 %
內(nèi)側(cè)泄漏	< 1 x 10^-9 atm·cc/sec He
扭矩	10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅
內(nèi)側(cè)泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
可重復(fù)性	20 次
扭矩	10、24 和 48 英寸/磅
扭矩測試泄露	< 5 x 10^-11 atm·cc/sec He
溫度循環(huán)
室溫	100 ℃；-10 ℃
密封	三組雙端口
周期	五個
內(nèi)側(cè)泄漏	< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He
溫度沖擊測試	-196 至 200 ℃（直接插入液態(tài) N₂）
< 7 x 10^-11 atm·cc/sec He 壓力	無泄漏
壓縮載荷測試
測量載荷	0.062 壓縮到 0.050 英寸
標準密封	685 磅
低負荷密封	618 磅

產(chǎn)品應(yīng)用

工業(yè)、半導(dǎo)體